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プラズマCVD装置
ASM
Eagle-10
1998
ASM社製 プラズマCVD装置 Eagle-10 【仕様】 ・装置プロセス仕様 P-SiN膜、P-SiO膜、ARL膜 ・装置構成 …
1,980万
山梨県(Yamanashi)
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